橢圓偏光儀針對LCD、OLED等新型平板顯示量產(chǎn)中所涉及的PI配向膜、光刻膠薄膜、ITO薄膜、有機(jī)發(fā)光薄膜、有機(jī)/無機(jī)封裝薄膜等質(zhì)量控制需要,專門設(shè)計(jì)的在線薄膜測量系統(tǒng)。橢偏在線監(jiān)測裝備可適用于空氣、N2、真空等環(huán)境條件,自動(dòng)實(shí)現(xiàn)玻璃基板上各種膜系結(jié)構(gòu)厚度分布、光學(xué)常數(shù)分布。
它可以通過檢測光線的電場振動(dòng)方向和相位差來確定光線的偏振狀態(tài),包括線偏振、圓偏振和橢偏振。主要由源、樣品、分析器和檢測器等組成。當(dāng)光線經(jīng)過樣品后,會(huì)發(fā)生偏振狀態(tài)的變化,這時(shí)候通過旋轉(zhuǎn)分析器的角度來改變檢測器的接收光信號,并記錄下每個(gè)角度下的信號強(qiáng)度。對信號進(jìn)行數(shù)學(xué)處理,就可以得到樣品對光線的偏振狀態(tài)造成的影響。
橢圓偏光儀由以下幾部分組成:
光源:通常使用白熾燈或鈉燈作為光源。這些光源可以發(fā)出連續(xù)譜或某個(gè)特定波長的單色光。
偏振器:偏振器可以將非偏振或線偏振的光轉(zhuǎn)化為具有確定偏振方向的偏振光。
樣品架:樣品架是用來放置待測樣品的位置。在偏光儀中,可以使用平板玻璃、晶體、薄膜等不同類型的樣品。
旋轉(zhuǎn)器:旋轉(zhuǎn)器是用來改變樣品在空間中的角度。通過測量樣品沿兩個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)角度,可以得到樣品的折射率、厚度等信息。
分析器:分析器是另一個(gè)偏振器,用于檢測樣品對光的旋轉(zhuǎn)和線偏振狀態(tài)的影響。
探測器:探測器是用來測量樣品對光的吸收率和旋光率的。在不同的偏光儀中,使用的探測器也不同,有些使用電子倍增管,有些則使用像素陣列。
以下是關(guān)于橢圓偏光儀的特點(diǎn)介紹:
1、可以測量復(fù)雜的偏振狀態(tài)
相對于普通偏光儀只能檢測線偏振和圓偏振光,可以測量任意偏振狀態(tài)的光。因此,它在研究材料的光電學(xué)性質(zhì)時(shí)非常有用。
2、測量范圍廣泛
可以測量從紫外線到紅外線的各種波長的光,因此適用于許多不同類型的樣品分析,包括晶體、金屬等。
3、高精度測量
具有高精度的測量能力,可以測量微小的光學(xué)旋轉(zhuǎn)角度和薄膜厚度等參數(shù)。這使其成為研究材料本身和材料與其它物質(zhì)之間相互作用的重要工具。
4、分析速度快
具有快速的數(shù)據(jù)采集和分析功能,可以在較短時(shí)間內(nèi)獲得大量數(shù)據(jù),并通過計(jì)算機(jī)程序?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)化測量和數(shù)據(jù)處理。
5、可以進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控
橢圓偏光儀可以實(shí)時(shí)監(jiān)控樣品在不同環(huán)境下的光學(xué)性質(zhì)變化,例如溫度、壓力等。這使其成為材料生產(chǎn)和加工過程中的重要工具,以及化學(xué)反應(yīng)和生物體內(nèi)光學(xué)測量的重要手段。